Plasmonic MEMS
Plasmonic MEMS
Zhang, John X. J.
Springer International Publishing AG
01/2023
191
Dura
Inglês
9783031231360
521
Descrição não disponível.
Preface.- Introduction.- Theoretical foundations.- Fabrication: from micro to nano and beyond.- Emerging techniques.- Plasmonics as a fabrication tool.- Plasmonic MEMS in biosensing and imaging.- Conclusion and perspective.
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Nanophotonics and Plasmonics;MEMS;Optical MEMS;Photonic devices;Nanolithography;Biosensing;Optical Microscopy;Plasmonic integrated lab-on-chip
Preface.- Introduction.- Theoretical foundations.- Fabrication: from micro to nano and beyond.- Emerging techniques.- Plasmonics as a fabrication tool.- Plasmonic MEMS in biosensing and imaging.- Conclusion and perspective.
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